儀器包括導(dǎo)向裝置、測(cè)量裝置、驅(qū)動(dòng)裝置、氣源控制裝置、輔助夾具、電腦等。

　　導(dǎo)向裝置:包括主體和氣浮滑座。主體本身是使用優(yōu)質(zhì)花崗巖精密加工而成的高精度直角尺。氣浮滑座與主體組成運(yùn)動(dòng)副，滑座的每個(gè)導(dǎo)向面與主體導(dǎo)向面之間均有氣浮，可以實(shí)現(xiàn)無摩擦上下移動(dòng)。

　　測(cè)量裝置:包括高精度測(cè)頭和夾持裝置，安裝在滑座上，隨滑座一起移動(dòng)，測(cè)頭采集數(shù)據(jù)可以實(shí)時(shí)傳輸給電腦。

　　驅(qū)動(dòng)裝置:包括電機(jī)和繞線輪等。繞線輪驅(qū)動(dòng)拉繩牽引滑座上下移動(dòng)。

　　氣源控制裝置:包括氣源過濾裝置、穩(wěn)壓裝置和控制閥門等。用以控制氣體壓力和流量的穩(wěn)定，以保證滑座氣膜厚度的穩(wěn)定。

　　輔助夾具:用以輔助定位被測(cè)件(如刀口形直角尺、平面直角尺等)。

　　電腦:輸入被測(cè)件信息、自動(dòng)采集數(shù)據(jù)并處理數(shù)據(jù)結(jié)果。

　　打印機(jī):打印輸出結(jié)果。

　　其主要用于如下幾個(gè)方面的測(cè)量:

　　1)檢測(cè)尺寸500mm內(nèi)的00級(jí)、0級(jí)、1級(jí)、2級(jí)的各種類型直角尺的垂直度，以及被測(cè)面的直線度;

　　2)檢測(cè)尺寸至500×500mm方箱的各個(gè)工作面相互垂直度和平行度;

　　3)檢測(cè)0-500mm范圍內(nèi)高精度的機(jī)械零件的垂直度。

　　這種儀器具有測(cè)量精度高、性能穩(wěn)定、操作及維護(hù)方便的優(yōu)點(diǎn)，但是由于技術(shù)難度較大，國(guó)內(nèi)幾乎沒有生產(chǎn)，只有幾家公司在做，目前主要是發(fā)達(dá)國(guó)家在生產(chǎn)。由于國(guó)外產(chǎn)品售價(jià)高，在我們國(guó)內(nèi)沒有得到普及推廣。國(guó)內(nèi)在檢測(cè)垂直度方面主要還是使用傳統(tǒng)的檢測(cè)方法，比如光隙法、手動(dòng)打表法等，這些方法操作過程比較繁瑣，檢測(cè)效率也比較低。